3DガラスRF部品
微細構造を有するガラス基板が、高精度で集積が容易なフォトニックデバイスを実現。アレイ構造でも1.5µm以下の穴位置精度で微細穴を形成できます。他のフォトニック部品にはブリッジやサブマウントなどがあります。